增加波导管内气体分子的密度，缩短气体分子的平均自由程，从而提高波导管的击穿强度阈值，防止微波功率传输时可能发生的波导管内打火现象。
5．真空系统
真空系统可以保持电子运动区域和加速管内的高度真空状态，一方面可以防止电子枪阴极中毒、钨丝材料的热子或灯丝氧化，另一方面可以避免加速管内放电击穿，还可以减少电子与残余气体的碰撞损失。
6．高压脉冲调整系统
在使用微波电场加速电子的加速器中，为了得到尽可能高的加速电场，瞬时微波功率很大，因此微波源都是脉冲工作的。
脉冲调制器是向这种微波源提供脉冲功率的电源，其工作原理是利用储能放电的原理形成高压脉冲，经脉冲调制器将该电压进一步放大后供微波功率源使用。
7．辐射系统
辐射系统的作用，是按照需要对电子束进行X线转换和均整输出，或直接均整后输出电子射线，并对输出的X线或电子射线进行实时监测和限束照射。
辐射头的基本结构：加速管安装在辐射头的上部，紧贴加速管引出窗的是靶，接下来分别是初级准直器、束流均整过滤器或散射箔、电离室、辐射野光学模拟系统、一对上准直器、一对下准直器、附件盘。
8．剂量监测系统
剂量监测系统由剂量监测电离室、剂量监测电路组成。
电离室位于辐射系统之内，安装在均整滤过器或散射箔与光子线的次级准直器之间，由若干片极片构成，其中有两对用于监测辐射野内相互垂直的两个方向的均整度，有一片用于监测辐射的能量变化，有两片用于检测辐射的吸收剂量。
多数使用平板电离室，其大小应覆盖整个治疗射野，少数使用指形电离室，其功能是监测X射线、电子束的剂量率、积分剂量和射野的对称性、平坦度。
9．机械系统
机械系统由基座、旋转机架、辐射头、治疗床等结构组成，现代医用
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