次见面,主要是巩固双方未来的合作。
特别是对陆宏光而言,只要能搭上矩阵半导体这艘巨轮,未来几乎不用担心中芯国际的利润问题,自然意义重大。
而矩阵半导体虽然已经着手建设自己的芯片工厂,但在今后产能持续扩张的前景下,加强和中芯国际的合作也是非常有必要的。
第二天,杨林在陆宏光的陪同下参观了位于京城亦庄的中芯国际300mm晶圆工厂。
这也是杨林第一次参观这种精密加工车间,工厂整体结构为四层,制造半导体产品最关键的无尘室位于第三层,加压吊顶形成由上向下的气流,设备维护工作则在二层的“SubFab”层完成。
进入厂房前,还需要进入无尘室打包一圈,因为任何粉尘颗粒都有可能对晶圆的质量产生致命影响。
晶圆厂几乎所有制造过程均为自动完成,因此厂内大部分工人的工作就是保证这些设备正常运行,光刻时校准以及实时缺陷监测等工作。
杨林和陆宏光在工厂负责人的陪同下进入车间,一旁的工厂工作人员则负责解说:“
杨先生您看,车间顶端的自动运输系统(AMHS)以每小时13公里的速度将晶圆在各个制造环节间运输,24小时不停歇。每个运载器都打在了一个FOUP(前端开口片盒),其中可装载最多25片300mm晶圆。而且厂内地面全部打孔,保证空气从上向下流通,将落尘可能减到最小。FOUP片盒挂接在一个制造阶段设备上,后面的那个正在被AMHS吊起……”
随后,杨林又饶有兴致地在众人的陪同下参观了化学机械抛光(CMP)车间,光刻车间等。
在光刻车间,这里甚至连灯光照明都受到了限制,所有工作都在昏黄的光线下进行。
杨林亲眼看到了激光如何将掩膜缩印到晶圆,算是真正了解了晶圆制造的全过程。
唯一让人觉得可惜的是,这些深紫外侵入式光刻机全部都是荷兰阿斯麦(ASML)公司和日本尼康的产品,目前还没有国产的可以代替。(未完待续。)