高振东转头,又和鲁总一起,沟通了一下除扩散炉之外,其他工艺的进度问题。
鲁总笑道:“总体还可以,封装部分,本来我们就是熟悉的,而且你提的要求也不是太夸张的那种,我们正在现有设备的基础上进行改进,问题不大。没搞完,但是进度在我们的计划预想之内。”
“那电阻加热真空蒸镀机呢?”
“那个就更好办了,你要求的主要是做铝的蒸镀,这东西熔点不高,做起来还真没什么太大的难度,说得过分点,就是烧开水,只是烧的不是水而是铝。我们用的办法比较直接,就是用钨丝加热,温度不够就加大电流。”
钨的熔点都远远超出铝的常压沸点了,干这个事儿还是没问题的。
大力出奇迹嘛,这一点,高振东倒是早有所料,早期集成电路的铝线蒸镀,对于厚度、光滑度、密度等等这些的控制都没有太高的要求,属于是实在不行就镀厚点儿的那种思路。
在技术发源早期就介入,就是这么爽。
“做出来了?”高振东还是有挺高兴的。
“还没有,现在扩散炉基本搞好了,就可以转头做那个了,这两个东西别看用途完全不同,可是在控制方式和具体研究上面,专业重叠性还是挺高的。你们厂的几位同志前段时间都被压在扩散炉改造上面了。”
对于1274厂来说,方迎红等几位具有丰富的自控经验的同志,给予的帮助很大,毕竟他们几个是跟着高振东干出来的,在自控方面掌握的知识和经验,比1274厂的同志还是要“略微”超出那么一点点。
所以当扩散炉改造牵住他们几个人的时候,电阻加热真空蒸镀机造出原理样机之后,剩下的实际调试工作就会受影响。
高振东也不是很急,光刻机的光学系统还不知道情况怎么样了呢。
到了食堂,1274的吕厂长已经在这里等候了,唐处长早就派人向他汇报了高振东过来的事情,只是工作忙,也不可能直接就到工艺车间去找,那就没必要。
但是吃饭肯定是要出面的,看见高振东,吕厂长非常热情的打招呼。
不热情不行,心里过意不去。
高振东给的工艺改造,哪怕不用在集成电路上,光是对于他们现有产品的生产,在良品率方面的提升就不是一点点。
他们已经准备利用扩散炉改造的成果,推广到厂里所有的扩散炉上面去,就这一项,集成电路工艺改造这个工作他们就算没白参加。
如今高振东亲自过来,于情于理,只要他在厂里,无论如何都是要出面的。
高振东在1274厂和导研院同志的热情招呼下,9点多才坐车到家,正好,他和谢建业,一车就都捎回来了,车子先回厂里,然后他们再自己骑车回来,那就有点儿吃饱了撑着的意思了。
娄晓娥见高振东回来,又是喝了酒的,连忙给他端上茶来,晚饭是她和陈越红两个人一起吃的,正好。