rF光刻机。“首先一点，咱们的ArF光刻机的数据模型建好了吗？”说到最后，他提出一个很基本的问题。
“那肯定没问题，咱们ArF光刻机的数据模型在去年的时候就已经建好，已经通过超级计算机做过无数次的模拟。”
“哎，只是咱们现在的机械加工精度跟不上，ArF光刻机的主机系统还达不到数据模型的精度要求。”
“要想实现数据模型的要求，咱们一定要进口德国人或者瑞士人的高精度数控机床才行呐。”
朴令楚的发言刚刚结束，胡明镇的团队成员们都皱着眉头，唉声叹气的把实际困难说出来。
胡明镇的团队和郭连生的团队，现在面临两个巨大难题，一个是ArF激光光源的问题，一个是光刻机主机系统的问题。只要解决这两个问题，一鸣集团的国产首台第四代光刻机就不存在任何问题了。
但这不是废话吗？一台光刻机也就两大部分比较关键，一个激光系统，一个是主机系统。
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