尼康08年的时候推出过它的6镜头EUV试验机EUV1,用的是和ASML试验机一样的微缩倍率、光学数值孔径、曝光视场。”
“前两年,它一直在各种光刻机会议上介绍它EUV1的进展,08年的时候搞定了动态曝光测试,拿到全晶圆的32nm线/距报告结果,光学系统波像差已经低于0.4nm。”
“EUV的3个核心,光源、镜头、掩膜台,尼康的日本供应商Gigaphoton公司,它的LPP型光源当时已经实现了临时聚焦点IF的60W,和ASML的光源供应商美国的Cymer是不相上下。”
“尼康出了两台EUV1工具,一台在日本芯片联盟Selete,一台在尼康的日本厂里,主要是给英特尔用。”
“这么说吧,你翻到最后,当时尼康与ASML的差距大概是18个月。”
随着方卓的话,孔豫也把文件翻到了最后,对于尼康光刻机的分析结论是曾经的18个月差距。
他不禁问道:“后来呢?”
“后来就是现在了。”方卓笑道,“ASML有更激进的工程化策略,现在是完成从ADT试验机到0.33NA的预生产型EUV光刻机NXE:3100的跳跃,三星已经有3100,比利时也有,台记今年的应该正在组装,下一步就是继续迭代了。”
孔豫皱眉:“那尼康还挺可惜的。”
“也可惜,也不可惜吧。”方卓淡淡的说道,“尼康EUV计划的很多信息是来自它的宣称,有部分可能是PPT,我们庐州厂之前采购尼康的光刻机,总是有问题,后来也只能用ASML的,两家设备的竞争力可见一斑。”
冰芯是与尼康打交道的,只是交道有点越打越远的意思。
尤其庐州厂是追逐先进制程,能用全世界最好的,绝对不会用第二好。
方卓看向重新翻阅文件的孔豫,说道:“尼康烂掉更好,我们这次就是要切片,尽量把有用的切回来,切不回来的就想办法合作,比如,日本做光源的Gigaphoton公司,公司搞不来,搞团队,团队搞不来,搞人,这个事具体要怎么做……嗯……”
孔豫认真的用自己的理解接上了话:“我明白,浑水摸鱼,巧取豪夺。”
方卓沉默一会,只能举起茶杯:“得道多助,因势利导。”
孔豫包装了下措辞,也举起茶杯:“好,方总,我与财务造假不共戴天!”